دا د ایم پلان اپو ۵ ایکس/۰.۱۵ مایکروسکوپ هدف د لوړ فعالیت انفینټي اصلاح شوی پلان اپوکرومیټ دی چې د صنعتي تفتیش، فلزاتو تحلیل، او سیمیکمډکټر ویفر ازموینې لپاره ډیزاین شوی. د ۰.۱۵ عددي اپرچر او د ۳۸.۸ ملي میتر استثنایی اوږد کاري واټن سره، دا د لید په پراخه ساحه کې تیز، فلیټ، رنګ اصلاح شوي انځورونه چمتو کوي.
کلیدي مشخصات:
لوړوالی: ۵X
عددي اپرچر (NA): 0.15
د کار واټن (WD): 38.8 ملي متره
آپټیکل ډیزاین: ایم پلان اپوکرومیټ (انفینټي اصلاح شوی)
د فوکل اوږدوالی: 40 ملي میتر